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J-GLOBAL ID：200903009668803582

位置決め制御装置

Inventor： 原 辰次 ,  涌井 伸二 ,  澤田 武
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992215758
Publication number (International publication number)：1994043940
Application date： Jul. 22, 1992
Publication date： Feb. 18, 1994
Summary：

【要約】【目的】 入力信号依存の非線形性や移動場所や移動方向に原因する制御対象のパラメータ変動を克服する。【構成】 被位置決め物体と、これを位置決め駆動する駆動手段と、前記被位置決め物体の位置を計測する位置計測手段と、この位置計測手段による計測結果に基づいて目標位置近傍手前まで位置決め物体を速度制御により高速に粗送りするため前記駆動手段を制御する速度補償器と、これにより目標位置近傍手前まで粗送りされた位置決め物体をさらに位置制御により目標位置へ位置決めするため前記駆動手段を制御する位置補償器と、前記速度補償器による速度制御から前記位置補償器による位置制御へ制御モードを切り替えるための制御モードスイッチとを備えた位置決め装置において、偏差信号とその差分信号に関する2次評価関数を最小と成す初期値を前記位置補償器に設定する最適初期値設定手段を具備する。

Claim (excerpt)：

被位置決め物体と、これを位置決め駆動する駆動手段と、前記被位置決め物体の位置を計測する位置計測手段と、この位置計測手段による計測結果に基づいて目標位置近傍手前まで位置決め物体を速度制御により高速に粗送りするため前記駆動手段を制御する速度補償器と、これにより目標位置近傍手前まで粗送りされた位置決め物体をさらに位置制御により目標位置へ位置決めするため前記駆動手段を制御する位置補償器と、前記速度補償器による速度制御から前記位置補償器による位置制御へ制御モードを切り替えるための制御モードスイッチとを備えた位置決め装置において、偏差信号とその差分信号に関する2次評価関数を最小と成す初期値を前記位置補償器に設定する最適初期値設定手段を具備することを特徴とする位置決め制御装置。

IPC (4)：

G05D 3/12 305 ,  B23Q 15/24 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68