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J-GLOBAL ID：200903009691846043
薄型基板搬送ロボット
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
飯田 昭夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998087162
Publication number (International publication number)：1999284049
Application date： Mar. 31, 1998
Publication date： Oct. 15, 1999
Summary：
【要約】【課題】 コンパクトに構成したダブルリンク式の薄型基板搬送ロボットを提供すること。【解決手段】 ロボット1は、機台2上にベースアーム3を回動可能に支持し、ベースアーム3の先端側において同一軸線上で回動可能に支持される2個のアーム(第1アーム4・第2アーム5)を上下方向に重なるように配置している。それぞれのアーム(第1アーム4・第2アーム5)はそれぞれ駆動モータで駆動されるとともに、先端側には、2個のハンド(第1ハンド6・第2ハンド7)を備え、それぞれ基板を吸着保持する。第1アーム4・第2アーム5の内部には、それぞれハンド(第1ハンド6・第2ハンド7)を駆動するためのプーリとベルト手段が配置され、それぞれの一方のプーリにベースアーム3から立設された1個の固定軸が固着されている。
Claim (excerpt)：
基板を支持する2個の基板保持手段と、それぞれの基板保持手段を一端側で回動可能に支持するそれぞれのアーム手段と、それぞれのアーム手段を駆動するためにそれぞれのアーム手段に連結するアーム駆動手段と、それぞれの基板保持手段を駆動するためにそれぞれの基板保持手段に連結する基板保持駆動手段と、機台に一端が回動可能に支持される1個のベースアームと、を有して構成され、それぞれのアーム手段が、上下方向に並設されるとともにそれぞれのアーム手段の他端側において前記ベースアームに前記ベースアームの他端側で同一軸線上で回動支持されるように構成されることを特徴とする薄型基板搬送ロボット。
IPC (2)：
FI (2)：
H01L 21/68 A
, B25J 9/00 E
