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J-GLOBAL ID：200903009693175324

微粒子測定方法およびその装置

Inventor： 清水 勲
Applicant, Patent owner： 科学技術振興事業団
Agent (1)： 長瀬 成城
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000077516
Publication number (International publication number)：2001264232
Application date： Mar. 21, 2000
Publication date： Sep. 26, 2001
Summary：

【要約】【課題】大容量の流体(媒質)中に混在するサイズが数ミクロン(μm)からサブミクロン(μm)あるいは数ナノメートル(nm)の微量の微粒子の検出に好適な微粒子測定方法およびその装置を提供する。【解決手段】 可干渉多波長光が混合されたレーザ光束を、平行走査して広いレーザ光照射領域と二つの凸レンズで広い測定視野をつくり、そのレーザ光照射領域内に被検査流体を流し、その流体の広い測定視野中の粒子の光散乱や光回折パターンから粒子の複数の形状や寸法の識別を、光熱偏向分光から組成ごとの粒子サイズと存在位置の計測を同時に行うことを特徴とする微粒子測定方法。

Claim (excerpt)：

レーザ光束を、平行走査して広いレーザ光照射領域をつくり、そのレーザ光照射領域内に被検査流体を流し、その流体の測定視野中の粒子の光散乱や光回折パターンから粒子の複数の形状や寸法の識別を測定する微粒子測定方法。

IPC (5)：

G01N 15/02 ,  G01B 11/00 ,  G01B 11/02 ,  G01B 11/24 ,  G01N 25/16

FI (5)：

G01N 15/02 A ,  G01B 11/00 A ,  G01B 11/02 G ,  G01N 25/16 C ,  G01B 11/24 D

F-Term (38)：

2F065AA04 ,  2F065AA23 ,  2F065AA53 ,  2F065BB21 ,  2F065BB29 ,  2F065CC00 ,  2F065DD06 ,  2F065FF42 ,  2F065FF48 ,  2F065GG04 ,  2F065HH03 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL04 ,  2F065LL13 ,  2F065LL20 ,  2F065LL21 ,  2F065LL51 ,  2F065LL62 ,  2F065MM15 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ32 ,  2F065QQ41 ,  2F065UU07 ,  2G040AB07 ,  2G040AB12 ,  2G040BA29 ,  2G040CA12 ,  2G040CA23 ,  2G040CB02 ,  2G040EA06 ,  2G040EB02 ,  2G040GA05 ,  2G040GA07 ,  2G040HA16 ,  2G040ZA05