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J-GLOBAL ID：200903009705269982

合成石英ガラスの製造方法

Inventor： 石川 真二 ,  大賀 裕一 ,  内山 幸一
Applicant, Patent owner： 住友電気工業株式会社
Agent (1)： 内田 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996213901
Publication number (International publication number)：1998059730
Application date： Aug. 13, 1996
Publication date： Mar. 03, 1998
Summary：

【要約】【課題】耐放射線特性、長期信頼性に優れ紫外線照射による劣化量の少ない合成石英ガラスの製造方法を提供する。【解決手段】ガラス原料を火炎中で酸化又は加水分解反応させることにより生成するガラス微粒子を堆積させた多孔質ガラス体を加熱処理して透明ガラス化する合成石英ガラスの製造方法において、上記加熱処理のガス雰囲気を不活性ガスとH2 Oを含む混合ガスとすることを特徴とする上記製造方法。また、多孔質ガラス体を予めCl2 又はCl化合物ガスと不活性ガスを含む混合ガス中で加熱処理した後に上記H2 Oと不活性ガスを含む混合ガス雰囲気処理してもよい。

Claim (excerpt)：

ガラス原料を火炎中で酸化又は加水分解反応させることにより生成するガラス微粒子を堆積させた多孔質ガラス体を加熱処理して透明ガラス化する合成石英ガラスの製造方法において、上記加熱処理のガス雰囲気を不活性ガスとH2 Oを含む混合ガスとすることを特徴とする上記製造方法。

IPC (4)：

C03B 8/04 ,  C03B 20/00 ,  C03B 37/014 ,  G02B 6/00 356

FI (4)：

C03B 8/04 ,  C03B 20/00 ,  C03B 37/014 Z ,  G02B 6/00 356 A