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J-GLOBAL ID：200903009717440741
走査電子顕微鏡
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993056774
Publication number (International publication number)：1994267467
Application date： Mar. 17, 1993
Publication date： Sep. 22, 1994
Summary：
【要約】【目的】走査電子顕微鏡およびその類似装置において、ビーム照射による試料の損傷やチャージアップの抑制、あるいは、防止を図ること。【構成】ビーム照射スイッチ12が押されるとコンピュータ11ではビーム照射開始後の経過時間をモニタし、予め設定した連続ビーム照射禁止時間以上経過した場合は自動的にコンピュータ11よりビームブランキング発生器8にビームブランキングの信号を送ることで実施する。【効果】オペレータはビームブランキングのタイミングを気にしながら操作しなくても良くなるので、余計な負担を軽減でき操作性を向上できるとともにビーム照射による試料の損傷の防止やチャージアップを抑制、あるいは、防止する効果がある。
Claim (excerpt)：
ビーム照射後の経過時間をモニタする手段と、ビーム照射をONあるいはOFFする手段と、連続ビーム照射禁止時間を設定する手段とを有する走査電子顕微鏡において、ビーム照射後の経過時間をモニタする手段によりビーム照射後の経過時間を計測し、前記ビーム照射後の経過時間が任意の予め設定した連続ビーム照射禁止時間以上経過した場合には、ビーム照射を自動的にOFFするようにしたことを特徴とする走査電子顕微鏡。
IPC (2)：
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