Pat
J-GLOBAL ID：200903009723325911
形状測定方法及び装置
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
森岡 正樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996332812
Publication number (International publication number)：1998160428
Application date： Nov. 27, 1996
Publication date： Jun. 19, 1998
Summary：
【要約】【課題】本発明は、非球面レンズ等の三次元形状を測定する形状測定方法及び装置に関し、球面あるいは平面原器を用いた干渉計で小さな部分領域を測定し、狭いオーバーラップ領域から高精度のフィッティングを行うことができる形状測定方法及び装置を提供することを目的とする。【解決手段】被測定面13を、相互にオーバーラップ領域を有する複数の部分領域に分割して、複数の部分領域のそれぞれの面形状データを計測する白色干渉計11と、部分領域と白色干渉計11との位置姿勢を定める直進ステージ14及び回転ステージ14’と、オーバーラップ領域における一方の部分領域の面形状データに対し、他方の部分領域の面形状データを、オーバーラップ領域の面の法線方向にのみフィッティングして、隣接する部分領域同士をつなぎ合わせることにより被測定面の3次元の全体形状を測定する制御装置15とを備えている。
Claim (excerpt)：
3次元形状を有する被測定面を、相互にオーバーラップ領域を有する複数の部分領域に分割し、前記複数の部分領域のそれぞれの面形状及び相対位置姿勢を計測し、前記相対位置姿勢に基づいて前記複数の部分領域の面形状の計測データを概略つなぎ合わせ、前記オーバーラップ領域における一方の前記部分領域の前記面形状の計測データに対し、他方の前記部分領域の前記面形状の計測データを、前記オーバーラップ領域の面の実質的な法線方向にのみフィッティングして、隣接する前記部分領域同士をつなぎ合わせることにより前記被測定面の3次元の全体形状を測定することを特徴とする形状測定方法。
IPC (5)：
G01B 11/24
, G01B 11/26
, G01B 21/20
, G01B 21/22
, G01M 11/00
G01B 11/24 D
, G01B 11/26 G
, G01B 21/20 A
, G01B 21/22
, G01M 11/00 L
