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J-GLOBAL ID：200903009760107339
光分解を利用した固体の多段階エッチング方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
上島 淳一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994078202
Publication number (International publication number)：1995256473
Application date： Mar. 24, 1994
Publication date： Oct. 09, 1995
Summary：
【要約】【目的】エッチングの加工速度を高速化するとともに、微細パターン加工やウェット・エッチングの際においてレジストを設ける必要性を排除して、加工工程を簡素化し作業性を向上させた光分解を利用した固体の多段階エッチング方法を提供する。【構成】光がエッチングする対象物に強い吸収を持つ光であって、照射エネルギーが少なくとも1光子解離あるいは多光子解離により原子間結合を切断して光分解を発生させる大きさである光を照射する第一の工程と、対象物の少なくとも第一の工程により光を照射された領域をエッチング処理する第二の工程とを有する。
Claim (excerpt)：
光がエッチングする対象物に対して大きな吸収を生じるような光であって、照射エネルギーが少なくとも1光子解離あるいは多光子解離により原子間結合を切断して光分解を発生させる大きさである光を照射する第一の工程と、前記対象物の少なくとも前記第一の工程により光を照射された領域をエッチング処理する第二の工程とを有することを特徴とする光分解を利用した固体の多段階エッチング方法。
IPC (2)：
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