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J-GLOBAL ID：200903009764701685

共焦点顕微鏡

Inventor： 日野 清
Applicant, Patent owner： 株式会社ミツトヨ
Agent (2)： 荒船 博司 ,  荒船 良男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006206122
Publication number (International publication number)：2008032995
Application date： Jul. 28, 2006
Publication date： Feb. 14, 2008
Summary：

【課題】走査機構の設計上の自由度が高く、好適な走査を行うことができ、且つ、光源からの光の利用効率が良く、高分解能な試料測定を好適に行うことができる共焦点顕微鏡を提供することである。【解決手段】照射光を、対物レンズ12を介して試料22の焦点面に結像させ、当該照射光の結像点を走査し、当該試料22の反射光から共焦点画像を得る共焦点顕微鏡100において、ピンホールユニット8によって、レーザー光源1から出力された光をマルチ光源に変換し、ピンホールユニット8と対物レンズ12との間に配置された第1オプティカルパラレル24、第2オプティカルパラレル26を、ガルバノメータ25、27によってそれぞれ傾けることにより、光を平行移動させ、平面走査を行う。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

照射光を、対物レンズを介して試料の焦点面に結像させ、当該照射光の結像点を走査し、当該試料の反射光から共焦点画像を得る共焦点顕微鏡において、 光源から出力された光をマルチ光源に変換するマルチ光源変換手段と、 前記マルチ光源変換手段によって変換された複数の光源に基づき平面走査を行う走査手段と、 を備え、 前記走査手段は、前記マルチ光源変換手段と対物レンズとの間に配置され、光透過性を有するオプティカルパラレルと、光軸に対する当該オプティカルパラレルの角度を変化させる角度変化手段と、を備えて構成されることを特徴とする共焦点顕微鏡。

IPC (3)：

G02B 21/00 ,  G02B 21/06 ,  G02B 26/10

FI (3)：

G02B21/00 ,  G02B21/06 ,  G02B26/10 104Z

F-Term (17)：

2H045AB01 ,  2H045BA12 ,  2H052AA08 ,  2H052AB06 ,  2H052AC02 ,  2H052AC07 ,  2H052AC14 ,  2H052AC15 ,  2H052AC29 ,  2H052AC30 ,  2H052AD03 ,  2H052AD06 ,  2H052AD09 ,  2H052AD18 ,  2H052AD31 ,  2H052AF14 ,  2H052AF21

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 特表平01-503493号公報
  
• マルチスリット走査撮像装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-358493   Applicant：株式会社高岳製作所