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J-GLOBAL ID:200903009776028471
水素ガスセンサ及び水素ガスセンサ製造方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
林 靖
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2007168899
Publication number (International publication number):2009008476
Application date: Jun. 27, 2007
Publication date: Jan. 15, 2009
Summary:
【課題】水素ガスに対して、常温で高感度、高速に応答し、信頼性が高く、安価で繰り返し使用することができ、製造が容易な水素ガスセンサとその製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】本発明の水素ガスセンサとその製造方法は、マイクロ電極2a,2bと、CNTを誘電泳動してマイクロ電極2a,2bに架橋したセンサ素子と、CNT表面を修飾して水素ガスを解離、吸着するPd粒子とを備え、マイクロ電極2a,2b間のコンダクタンスまたは抵抗の変化を測定することで水素ガス濃度を検出する水素ガスセンサ1であって、表面を修飾するPd粒子が、Pdの塩若しくは錯体の溶液中に浸漬されたときのCNTとPdの酸化還元反応で析出するPd粒子と、前記溶液の中で酸化還元反応と重畳して起こるPdと電極材料の酸化還元反応に由来して析出したPd粒子とを含むことを主要な特徴とする。【選択図】図2
Claim (excerpt):
一対の電極と、カーボンナノ材料を誘電泳動して前記電極間に架橋したセンサ素子と、前記カーボンナノ材料の表面を修飾して水素ガスを解離、吸着する触媒金属体とを備え、前記電極間のコンダクタンスまたは抵抗の変化を測定することで水素ガス濃度を検出する水素ガスセンサであって、前記表面を修飾する触媒金属体が、触媒金属の塩若しくは錯体の溶液中に浸漬されたときのカーボンナノ材料と該触媒金属の酸化還元反応で析出する触媒金属粒子と、前記溶液の中で前記酸化還元反応と重畳して起こる前記触媒金属と電極材料の酸化還元反応に由来して析出した触媒金属粒子とを含むことを特徴とする水素ガスセンサ。
IPC (2):
FI (4):
G01N27/12 M
, G01N27/12 C
, G01N27/04 E
, G01N27/12 B
F-Term (46):
2G046AA05
, 2G046BA01
, 2G046BA06
, 2G046BA09
, 2G046BB02
, 2G046BB04
, 2G046BC03
, 2G046BC05
, 2G046BF05
, 2G046BG04
, 2G046DA03
, 2G046DC14
, 2G046DD02
, 2G046EA02
, 2G046EA04
, 2G046EA08
, 2G046EA09
, 2G046FB00
, 2G046FC06
, 2G046FE03
, 2G046FE10
, 2G046FE29
, 2G046FE31
, 2G046FE38
, 2G060AA01
, 2G060AB03
, 2G060AE19
, 2G060AF03
, 2G060AF07
, 2G060AG08
, 2G060AG10
, 2G060AG11
, 2G060AG15
, 2G060BA09
, 2G060BB03
, 2G060BB09
, 2G060BB18
, 2G060BC03
, 2G060HA02
, 2G060HC07
, 2G060HC10
, 2G060HC18
, 2G060HD03
, 2G060HE03
, 2G060JA01
, 2G060KA01
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (4)
-
ガスセンサ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-316841
Applicant:東京瓦斯株式会社
-
燃料電池及びその駆動方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2005-376845
Applicant:ソニー株式会社
-
カーボンナノチューブセンサ及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2005-153365
Applicant:国立大学法人九州大学
-
カーボンナノチューブを用いたセンサ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-028348
Applicant:光洋精工株式会社
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Cited by examiner (7)
-
気体検知装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2004-297710
Applicant:富士通株式会社
-
カーボンナノチューブセンサ及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2005-153365
Applicant:国立大学法人九州大学
-
カーボンナノチューブデバイス
Gazette classification:公表公報
Application number:特願2001-545835
Applicant:ザボードオブトラスティーズオブザレランドスタンフォードジュニアユニバーシティー
-
常温に近い温度で製造され及び動作する、化学的検出材料としての半導体材料の用途
Gazette classification:公表公報
Application number:特願2003-547926
Applicant:ソニーインターナショナル(ヨーロッパ)ゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング, マックス-プランク-ゲゼルシャフトツゥア-フェデルゥンデルヴィッセンシャフテンエーフォー
-
カーボンナノチューブを用いたセンサ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-028348
Applicant:光洋精工株式会社
-
ガスセンサ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2003-117495
Applicant:松下電工株式会社
-
金属薄膜を用いた溶存水素センサ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2005-056498
Applicant:国立大学法人東北大学, 独立行政法人科学技術振興機構
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