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J-GLOBAL ID：200903009784523023

マグネトロン出力制御方法及び装置

Inventor： 大市 啓晶 ,  福本 佳樹 ,  伊藤 宏行
Applicant, Patent owner： 株式会社ダイヘン
Agent (1)： 中井 宏
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999098645
Publication number (International publication number)：2000294396
Application date： Apr. 06, 1999
Publication date： Oct. 20, 2000
Summary：

【要約】【課題】 マグネトロン17の出力制御方法を改善することによって、反射波電力が発生した場合に、ハンチング状態になることを防止して、速やかに整合させる。【解決手段】 本発明は、マイクロ波を発生するマグネトロン(磁電管)17の出力をプラズマ負荷18に供給する装置のマグネトロン出力制御方法において、進行波電力に対応した信号Ea及び反射波電力に対応した信号Ebを検出又は演算して、この反射波電力に対応した信号Ebが、予め設定した反射波電力比較基準値Ec以上になると、マグネトロンの出力制御を、進行波電力を一定値にする制御からアノード電流を一定値にする制御に切り換え、反射波電力に対応した信号Ebが、予め設定した反射波電力比較基準値Ec未満になると、マグネトロン17の出力制御を、アノード電流を一定値にする制御から進行波電力を一定値にする制御に切り換えるマグネトロン出力制御方法及び装置である。

Claim (excerpt)：

マイクロ波を発生するマグネトロン(磁電管)の出力をプラズマ負荷に供給する装置のマグネトロン出力制御方法において、マグネトロンからプラズマ負荷に向かう進行波電力に対応した信号及びプラズマ負荷から反射してくる反射波電力に対応した信号を検出又は演算して、前記反射波電力に対応した信号が、予め設定した反射波電力比較基準値以上になると、マグネトロンの出力制御を、進行波電力を一定値にする制御からアノード電流を一定値にする制御に切り換え、反射波電力に対応した信号が、予め設定した反射波電力比較基準値未満になると、マグネトロンの出力制御を、アノード電流を一定値にする制御から進行波電力を一定値にする制御に切り換えるマグネトロン出力制御方法。

IPC (2)：

H05H 1/46 ,  H01J 23/40

FI (3)：

H05H 1/46 B ,  H05H 1/46 R ,  H01J 23/40 B

F-Term (1)：

5C029QQ10