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J-GLOBAL ID：200903009808104817
オゾン配管系でのオゾンガスの純度維持方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
北谷 寿一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997096275
Publication number (International publication number)：1998287406
Application date： Apr. 15, 1997
Publication date： Oct. 27, 1998
Summary：
【要約】【課題】 オゾンの自己分解や反応を抑制して、供給するオゾン消費設備に供給されるオゾン濃度の変化を可及的に抑制することのできるオゾンガスの純度維持方法を提供する。【解決手段】 オゾン発生器に供給する原料ガス及び発生オゾンを希釈する希釈用ガスとして、不純ガス成分をメタンガス280ppm以下、水素0.14%以下、一酸化炭素ガス0.41%以下、水分1290ppm以下に調整したものを使用する。
Claim (excerpt)：
オゾン発生器に供給する原料ガス及び発生オゾンを希釈する希釈用ガスとして、不純ガス成分をメタンガス280ppm以下、水素0.14%以下、一酸化炭素ガス0.41%以下、水分1290ppm以下に調整したものを使用することを特徴とするオゾン使用設備で使用するオゾンガスの純度維持方法。
Patent cited by the Patent：
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