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J-GLOBAL ID：200903009808707090

分光装置

Inventor： 藤原 幹治
Applicant, Patent owner： 日本分光株式会社
Agent (1)： 松井 伸一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992166708
Publication number (International publication number)：1993332934
Application date： Jun. 03, 1992
Publication date： Dec. 17, 1993
Summary：

【要約】【目的】 集光させたレーザー光のほぼ焦点上に試料を配置することができ、測定精度の向上を図ることのできる分光装置を提供すること。【構成】 ラマン分析を行うためのレーザー光2と、焦点合わせを行うための参照光とを共通化している。そのため、レーザー光の光路上には、第1,第2のハーフミラー3,4を傾斜配置している。そして、第1のハーフミラーの下方には、集光レンズ15,画像検出装置16が配置している。また、第2のハーフミラーの下方には、対物レンズ5を介して試料6が配置され、この試料6はZステージ8により上下移動する。これにより、レーザー光は集光されて試料に照射し、発生したラマン散乱光の一部は第2,第1のハーフミラーを介して画像検出装置に入射する。そして、その画像データを制御装置17に送り、受光したビーム径が最小になるように制御信号を発し、対物レンズ,Zステージを上下動させる。

Claim (excerpt)：

レーザー光を所定の集光光学系を介して集光させて試料に照射させ、その照射に基づいてその試料から発生する戻り光を分光器に入射することにより分析処理を行う分光装置において、前記集光光学系と前記試料との距離を変更する駆動手段と、前記集光光学系を介して前記試料に参照光を照射する手段と、前記参照光の前記試料からの戻り光を受ける画像検出手段と、その画像検出手段の出力を受け、所定の画像処理をするとともにその処理結果に基づいて前記集光光学系の焦点を合わすべく前記駆動手段の駆動を制御する制御手段とを備えた分光装置。

IPC (4)：

G01N 21/65 ,  G01J 3/42 ,  G01J 3/44 ,  G01N 21/27

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平4-099929
  
• 特開昭62-091836
  
• 特開平1-235836
  
• 特開昭61-122617