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J-GLOBAL ID：200903009814355058

有機焦電・圧電体の製造方法およびその製造装置

Inventor： 飯島 正行
Applicant, Patent owner： 日本真空技術株式会社
Agent (1)： 北村 欣一 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993147825
Publication number (International publication number)：1995011424
Application date： Jun. 18, 1993
Publication date： Jan. 13, 1995
Summary：

【要約】【目的】 耐熱性、絶縁性に優れた焦電圧電性を有し、均一な膜厚で、膜質の大面積のポリ尿素膜を基板上に成膜と同時に形成する有機焦電・圧電体の製造方法と、その製造装置。【構成】 基板に正のバイアス電圧を印加し、基板に向かって電子を照射しながら真空中でポリ尿素の原料モノマーを蒸発させ、基板上で蒸着、重合中のポリ尿素膜に分極処理を施して焦電圧電性を有する有機焦電・圧電体を製造する方法。

Claim (excerpt)：

真空中でポリ尿素樹脂の原料モノマーを蒸発させ、これを基板上で蒸着重合させてポリ尿素膜から成る有機焦電・圧電体の製造方法において、基板に正バイアス電圧を印加すると共に、電子供給源から基板に向かって電子を照射しながら、基板上で前記の原料モノマーの蒸着重合を行うことを特徴とする有機焦電・圧電体の製造方法。

IPC (4)：

C23C 14/12 ,  H01L 37/02 ,  H01L 41/26 ,  C08J 5/18 CFF