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J-GLOBAL ID：200903009827002600

無軌道移動ロボットを用いた自動搬送システム

Inventor： 阿久津 治
Applicant, Patent owner： 日鉄セミコンダクター株式会社
Agent (1)： 櫻井 俊彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997213805
Publication number (International publication number)：1998308429
Application date： May. 08, 1997
Publication date： Nov. 17, 1998
Summary：

【要約】【目的】無軌道移動ロボットを用いた自動搬送システムにおいて、移載作業の確実化と作業時間の短縮化とを図る。【構成】半導体ウエハを収容するキャリア(2)の所定の箇所に移載位置補正用マーク(m)が付され、キャリア(2)をウエハ処理装置(1)から無軌道移動ロボット(10)に移載する際は、キャリア(2)に付された移載位置補正用マーク(m)がアーム(12)の先端部に取付けられたカメラ(14)で読取られ、上記移載時の位置の補正が行われる。

Claim (excerpt)：

無軌道移動ロボットのアームの先端部にチャックとカメラを取付けておき、このカメラで移載位置補正用マークを読取って移載時の位置を補正したのち、半導体ウエハを収容するキャリアを前記チャックで保持し開放することにより、ウエハ処理装置との間の前記キャリアの移載を行う自動搬送システムにおいて、前記キャリアの所定の箇所に前記移載位置補正用マークを付しておき、前記キャリアを前記ウエハ処理装置から前記無軌道移動ロボットに移載する際は、前記キャリアに付された前記移載位置補正用マークを前記カメラで読取って前記移載時の位置を補正することを特徴とする無軌道移動ロボットを用いた自動搬送システム。

IPC (3)：

H01L 21/68 ,  B25J 5/00 ,  B65G 49/07

FI (3)：

H01L 21/68 A ,  B25J 5/00 A ,  B65G 49/07 C