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J-GLOBAL ID：200903009865946883

走査プローブ顕微鏡用プローブと微細加工装置

Inventor： 楠本 修 ,  加道 博行 ,  任田 隆夫 ,  山本 伸一
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 池内 寛幸 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993090295
Publication number (International publication number)：1994300515
Application date： Apr. 16, 1993
Publication date： Oct. 28, 1994
Summary：

【要約】【目的】 原子間力顕微鏡の探針と導体試料表面の間に適度な電流を流してnmスケールの微細なピット加工を可能にする。【構成】 カンチレバー2の先端に設けた導電性探針1の表面に、たとえば10nm〜1μm程度の適度な厚さの絶縁皮膜3を形成する。カンチレバー2のたわみを光てこ法等により知ることができるように探針のついていない面にAu薄膜4をコートする。

Claim (excerpt)：

先鋭化された金属または半導体の表面を絶縁物で被覆した探針を持ったカンチレバーからなる走査プローブ顕微鏡用プローブ。

IPC (4)：

G01B 7/34 ,  G01B 21/30 ,  H01J 37/28 ,  H01J 37/30