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J-GLOBAL ID：200903009876209120

焦点合わせ装置

Inventor： 武井 利佳子 ,  長谷川 浩幸 ,  宇都 正彦 ,  伊藤 彰洋
Applicant, Patent owner： ブラザー工業株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991194005
Publication number (International publication number)：1993034119
Application date： Aug. 02, 1991
Publication date： Feb. 09, 1993
Summary：

【要約】【目的】 焦点合わせ装置を備えた形状測定装置において、焦点合わせを敏速に行う。【構成】 焦点合わせ装置を備えた形状測定装置は、測定用光線束を対物レンズを通して対象物に照射する。そして、対象物からの反射光は分割手段により第1反射光と第2反射光に分割され、上記第1反射光はピンホールを通過し第1受光素子に照射する。このとき、第1受光素子の出力は対物レンズと対象物との距離により変化する。第2反射光はそのまま第2受光素子に照射される。そして、CPUは、第1受光素子の出力と第2受光素子の出力が一致する点を検出し、その検出に従いモータは上記対象物と上記対物レンズの離隔を合焦点位置に移動する。

Claim (excerpt)：

対象物の表面形状を測定する光学機器と該対象物との焦点を合わせる焦点合わせ装置において、上記光学機器の対物レンズを光軸として、上記対象物に測定用光線束を照射する光源と、上記対象物からの反射光を第1反射光と第2反射光に分割する分割手段と、上記第1反射光を光路を制限する光路規制手段と、該光路規制手段を通過した後受光する第1受光素子と、上記第2反射光を受光する第2受光素子と、該照射された第1,第2受光素子の出力に応じて焦点のずれを検出する焦点ずれ検出手段と、該焦点ずれ検出手段にて検出した焦点ずれに応じて、上記対象物と上記対物レンズとの離隔を変更する離隔変更手段とを備えたことを特徴とする焦点合わせ装置。

IPC (2)：

G01B 11/24 ,  G02B 7/28

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特公昭47-007055
  
• 特開平3-110406
  
• 特開平1-239407