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J-GLOBAL ID：200903009876730297
干渉計装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
影井 俊次
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992277678
Publication number (International publication number)：1994109456
Application date： Sep. 24, 1992
Publication date： Apr. 19, 1994
Summary：
【要約】 (修正有)【目的】 干渉計本体に装着されている基準レンズと被検レンズとが測定位置となるように調整する作業を容易に行うことができるようにすることにある。【構成】 基準レンズの種類を検出する基準レンズ検出手段30と、この基準レンズの高さ位置を検出する高さ位置演算回路33とを備え、これらにより検出された基準レンズに関する情報はデータ処理回路34に入力され、基準レンズにおける基準面の曲率半径及びFナンバーと、この基準レンズにより測定可能な被検レンズの曲率半径の範囲、及び基準レンズの位置に応じて測定できる被検レンズの曲率半径に関するデータが記憶されているレンズデータメモリ35から読み出されて、撮像手段19から画像処理回路37を経て生成された干渉縞映像信号に重ね合わせるか、または基準レンズデータを単独で、モニタ装置20の画面に表示できるようになっている。
Claim (excerpt)：
干渉計本体に設けた基準レンズの基準面に光源からの光を一部を反射させ、この基準レンズを透過する光を被検レンズにも反射させて、両反射光の間で干渉縞を発生させることにより被検レンズの表面状態の検査を行うものであって、前記基準レンズまたは被検レンズがセットされるレンズマウントの少なくとも一方を変位手段に装着して光軸方向に位置調整可能となし、被検レンズに応じて基準レンズを交換可能とした干渉計装置において、前記干渉計本体に装着されている基準レンズの基準面の曲率半径及び有効口径を検出する基準レンズ検出手段と、前記変位手段による基準レンズまたは被検レンズの位置を検出する位置検出手段と、前記基準レンズ検出手段及び位置検出手段からの信号に基づいて、この基準レンズの被検レンズに対する相対位置において、測定可能な被検レンズの曲率半径を割り出す曲率半径演算手段とを備える構成としたことを特徴とする干渉計装置。
IPC (4)：
G01B 11/30 102
, G01B 9/02
, G01B 11/24
, G01M 11/00
