検査装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：落合稔 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993127883
Publication number (International publication number)：1994317532
Application date： Apr. 30, 1993
Publication date： Nov. 15, 1994
Summary：

【要約】【目的】試料表面の被膜付き指標をも容易に読み取ることが可能な検査装置を提供する。【構成】試料に対して光を照射し、その透過光または反射光を光学素子によって集束し、その後方で前記試料の観測を行うように構成された検査装置において、前記光学素子の後像空間焦平面またはその近傍に開口絞りを設置するとともに、前記光学素子として色消しレンズを用いたものである。

Claim (excerpt)：

試料に対して光を照射し、その透過光または反射光を光学素子によって集束し、その後方で前記試料の観測を行うように構成された検査装置において、前記光学素子の後像空間焦平面またはその近傍に開口絞りを設置するとともに、前記光学素子として色消しレンズを用いたことを特徴とする検査装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (29)

特開平2-047541
特開平2-047541
特開昭55-164304

Show all

Return to Previous Page