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J-GLOBAL ID:200903009901429017

感放射線性樹脂組成物、バンプ形成用および配線形成用材料ならびにドライフィルムレジスト

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998209235
Publication number (International publication number):2000039709
Application date: Jul. 24, 1998
Publication date: Feb. 08, 2000
Summary:
【要約】【解決手段】 (A)(a)カルボキシル基を有するラジカル重合性化合物に由来する構成単位、(b)フェノール性水酸基を有するラジカル重合性化合物に由来する構成単位、(c)他のラジカル重合性化合物に由来する構成単位からなるアルカリ可溶性を有する共重合体、(B)少なくとも1個のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物、および(C)放射線ラジカル重合開始剤、を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【効果】 バンプ形成用および配線形成用材料として好適な感放射線性樹脂組成物を提供する。
Claim (excerpt):
(A)(a)カルボキシル基を有するラジカル重合性化合物に由来する構成単位、(b)フェノール性水酸基を有するラジカル重合性化合物に由来する構成単位、(c)他のラジカル重合性化合物に由来する構成単位からなるアルカリ可溶性を有する共重合体、(B)少なくとも1個のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物、および(C)放射線ラジカル重合開始剤、を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (6):
G03F 7/027 502 ,  C08F 2/44 ,  C08F291/06 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/033 ,  H05K 3/18
FI (6):
G03F 7/027 502 ,  C08F 2/44 C ,  C08F291/06 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/033 ,  H05K 3/18 D
F-Term (103):
2H025AA00 ,  2H025AA02 ,  2H025AA14 ,  2H025AA16 ,  2H025AB00 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AC04 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AD01 ,  2H025BC31 ,  2H025BC51 ,  2H025CA00 ,  2H025CA18 ,  2H025CA23 ,  2H025CB09 ,  2H025CB10 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB15 ,  2H025CB16 ,  2H025CB17 ,  2H025CB43 ,  2H025CB45 ,  2H025CB47 ,  2H025CB52 ,  2H025FA17 ,  4J011QA03 ,  4J011QA06 ,  4J011QA07 ,  4J011QA08 ,  4J011QA12 ,  4J011QA13 ,  4J011QA15 ,  4J011QA17 ,  4J011QA18 ,  4J011QA22 ,  4J011QA23 ,  4J011QA34 ,  4J011RA03 ,  4J011RA04 ,  4J011RA10 ,  4J011RA11 ,  4J011RA12 ,  4J011RA15 ,  4J011SA90 ,  4J011TA01 ,  4J011TA08 ,  4J011UA01 ,  4J011UA06 ,  4J011VA04 ,  4J011WA01 ,  4J026AA17 ,  4J026AA20 ,  4J026AA24 ,  4J026AA25 ,  4J026AA33 ,  4J026AA38 ,  4J026AA43 ,  4J026AA45 ,  4J026AA48 ,  4J026AA49 ,  4J026AA50 ,  4J026AA53 ,  4J026AA55 ,  4J026AA67 ,  4J026AA68 ,  4J026AA69 ,  4J026AA76 ,  4J026AC23 ,  4J026AC33 ,  4J026BA27 ,  4J026BA28 ,  4J026BA29 ,  4J026BA30 ,  4J026BA31 ,  4J026BA32 ,  4J026BA36 ,  4J026BA40 ,  4J026BA50 ,  4J026BB01 ,  4J026BB02 ,  4J026DA02 ,  4J026DA08 ,  4J026DA12 ,  4J026DA14 ,  4J026DA15 ,  4J026DB06 ,  4J026DB11 ,  4J026DB15 ,  4J026DB29 ,  4J026DB30 ,  4J026DB32 ,  4J026DB36 ,  4J026GA07 ,  4J026GA08 ,  5E343CC61 ,  5E343DD32 ,  5E343ER12 ,  5E343ER16 ,  5E343ER18 ,  5E343GG08
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (11)
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