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J-GLOBAL ID：200903009938977618
品質検査装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
三宅 景介
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997286240
Publication number (International publication number)：1999108637
Application date： Oct. 03, 1997
Publication date： Apr. 23, 1999
Summary：
【要約】【課題】 検査対象を拡げて汎用性を得ることができ、検査精度を向上させて検査の信頼性を向上させることができる品質検査装置を提供する。【解決手段】 被検査物1の被検査面を撮像する撮像カメラ2と、被検査面を照明するための明視野用照明光5を出射する明視野用照明光源4と、被検査面を照明するための暗視野用照明光7を出射する暗視野用照明光源6と、撮像カメラ2からの出力をもとに被検査面の欠陥の有無を判定する判定手段8とを備える。明視野用照明光源4および暗視野用照明光源6を検査対象に対応して選択的に単独で、若しくは併用して使用する。鏡面等の反射成分を確実に得ることができる明視野用照明光5と、色、乱反射等の成分を確実に得ることができる暗視野用照明光7とを選択的に単独で、若しくは併用して使用することにより、各種の検査対象に適用して検出精度を向上させることができる。
Claim (excerpt)：
被検査物の被検査面を撮像する撮像手段と、上記被検査面を照明し、上記撮像手段において明視野となる明視野用照明光を出射する明視野用照明光源と、上記被検査面を照明し、上記撮像手段において暗視野となる暗視野用照明光を出射する暗視野用照明光源と、上記撮像手段からの出力をもとに上記被検査面の欠陥の有無を判定する判定手段とを備え、上記明視野用照明光源および暗視野用照明光源が検査対象に対応して選択的に単独で、若しくは併用されて使用されるように構成された品質検査装置。
IPC (2)：
FI (2)：
G01B 11/30 E
, G01N 21/89 A
