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J-GLOBAL ID：200903009953670669

固体撮像素子の画素欠陥測定装置

Inventor： 村山 幹夫 ,  山本 靖利 ,  安井 敏之 ,  久我 龍一郎
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991287470
Publication number (International publication number)：1993130512
Application date： Nov. 01, 1991
Publication date： May. 25, 1993
Summary：

【要約】【目的】 本発明は固体撮像素子の評価に用いる画素欠陥測定に関し、固体撮像素子の画素欠陥目視検査と相関性のある測定を行うことを目的とする。【構成】 A/D変換器2は固体撮像素子1の信号を量子化し、フレ-ムメモリ3でデジタル出力信号を蓄積し、フレ-ム間平均化部4でランダムノイズを取り除いた画素信号と、空間平均部5で検出した画像のシェ-ディング成分との差分信号をフレ-ム間差分部6で検出し、ヒストグラム分析部7でのヒストグラム分析から、画素欠陥検出部8は1画素毎に画素欠陥画素を判断し、画素位置記憶部9は前記画素欠陥画素の位置と画素の信号値を記憶し、画素欠陥グル-プ分け部10は、前記画素欠陥画素の周辺画素に画素欠陥が存在するならば空間的に連続であると認識し、1個のグル-プと判断することでグル-プ分けを行う。

Claim (excerpt)：

固体撮像素子の信号を量子化するA/D変換器と、前記A/D変換器のディジタル出力信号を蓄積するフレ-ムメモリと、前記フレ-ムメモリのディジタル出力信号を演算処理して画素欠陥を算出する演算処理装置を備えて成り、前記演算処理装置は、フレ-ムメモリのディジタル出力信号を任意回数のフレ-ム間平均を行い、固体撮像素子の信号に含まれるランダムノイズを軽減するフレ-ム間平均化手段と、前記フレ-ム間平均化手段から得られた画像信号を空間的に平均化して画像のシェ-ディング成分を検出する空間平均化手段と、前記フレ-ム間平均化手段から得られた画像信号と前記空間平均化手段から得られた画像信号の差分信号を検出するフレ-ム間差分手段と、前記フレ-ム間差分手段から得られた画像信号のヒストグラム分析を行うヒストグラム分析手段と、前記フレ-ム間差分手段から得られた画像信号を1画素毎に前記ヒストグラム分析手段から得られた任意のレベルと比較し画素欠陥画素と判断する画素欠陥検出手段と、前記画素欠陥画素の画素の位置と画素の信号値を記憶する画素欠陥位置記憶手段と、前記画素欠陥画素の周辺画素に画素欠陥が存在するならば空間的に連続であると認識し、1個のグル-プと判断する画素欠陥グル-プ分け手段と、一定光量のチャ-トを固体撮像素子で撮像したときに出力される信号値を外部入力で与える信号値入力手段からなることを特徴とする固体撮像素子の画素欠陥測定装置。