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J-GLOBAL ID：200903009991516878
顕微鏡自動焦点調整装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
篠原 泰司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995146258
Publication number (International publication number)：1996338943
Application date： Jun. 13, 1995
Publication date： Dec. 24, 1996
Summary：
【要約】【目的】顕微鏡自動焦点調整装置において、対物レンズとして液浸対物レンズを用いた場合にも、試料が対物レンズに付着せず、常にステージに付着した状態を維持し、適正な焦点検出を可能にする。【構成】ステージ駆動回路3は、合焦に際して、対物レンズ5が液浸対物レンズである場合ににおいては、ステージ2を上方向に移動させるときには移動速度を高速に設定し、ステージ2を下方向に移動させるときには移動速度を低速に設定する。
Claim (excerpt)：
ステージ上に載置された試料を観察する、対物レンズを含む対物光学系と、該対物光学系により形成された前記試料の像の合焦度を検出する合焦度検出手段と、該合焦度検出手段が検出した合焦度に応じて前記対物レンズと前記ステージの少なくとも何れか一方を上下方向に駆動し、焦点調整を行う駆動手段とを有する顕微鏡自動焦点調整装置において、前記駆動手段は、前記対物レンズが液浸対物レンズであると判定された場合には、該液浸対物レンズと前記ステージとを相互に接近させる方向においては駆動速度を高速に設定し、前記液浸対物レンズと前記ステージとを相互に離隔させる方向においては駆動速度を低速に設定するものであることを特徴とする顕微鏡自動焦点調整装置。
IPC (2)：
FI (2)：
G02B 7/11 J
, G03B 3/00 A
