Pat
J-GLOBAL ID：200903010009890468
ベーキング装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997157075
Publication number (International publication number)：1999008175
Application date： Jun. 13, 1997
Publication date： Jan. 12, 1999
Summary：
【要約】【課題】 ウェーハの受け渡しの際のメインアームへの負担軽減やスループットの向上、メインアームに対する熱影響の低減、昇温・降温時のウェーハにおける熱分布ムラの低減、温度分布ムラや湿度分布ムラによるウェーハ面の処理不均一性の低減ができるとともに、装置の小型化及び工程の簡素化が可能なベーキング装置を提供する。【解決手段】 装置ケース11内に設置されたホットプレート12によりウェーハWをベーキング処理するベーキング装置において、装置ケース11内に、ウェーハWをクーリング処理するクーリングプレート13を設置した。
Claim (excerpt)：
ケース内に設置されたホットプレートによりウェーハをベーキング処理するベーキング装置において、前記ケース内に、前記ウェーハをクーリング処理するクーリングプレートを設置したことを特徴とするベーキング装置。
FI (2)：
H01L 21/30 567
, H01L 21/30 571
