Pat

J-GLOBAL ID：200903010034884375

微小凹部付きガラス基板およびその製造方法

Inventor： 松田 厚範 ,  森尾 健二 ,  岸本 隆 ,  浜中 賢二郎
Applicant, Patent owner： 日本板硝子株式会社
Agent (1)： 大野 精市
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995111639
Publication number (International publication number)：1996220306
Application date： May. 10, 1995
Publication date： Aug. 30, 1996
Summary：

【要約】【目的】 エッチング法によって形成され1次元または2次元に配列された微小凹部の輪郭形状が円形である平板型マイクロレンズ用のガラス基板を、また微小凹部の断面が円弧から形成される平板型マイクロレンズ用のガラス基板を提供するものである。【構成】 エッチング法によってガラス基板に微小凹部を形成する際、研磨工程での潜傷の顕在化によって不均一なエッチングが発生する。そこで、ガラス基板の表面粗さを厳密に中心線平均粗さRaで0.4nm以下に制御することで、前記微小凹部を平面視したときの輪郭が真円とすることができる。

Claim (excerpt)：

表面の中心線平均粗さRaが0.4nm以下のガラス基板表面に、エッチング法によって形成された微小凹部が多数個1次元または2次元に規則配列された平板マイクロレンズ用ガラス基板であって、前記の微小凹部を平面視したときの輪郭形状がほぼ円形であり、前記輪郭形状の長径と短径の比が、1.1以下であることを特徴とする微小凹部付きガラス基板。ただし、輪郭形状の最も長い径を長径と、最も短い径を短径とする。

IPC (5)：

G02B 3/00 ,  C03C 15/00 ,  G02B 1/04 ,  G02F 1/1333 500 ,  G02F 1/1335

FI (5)：

G02B 3/00 A ,  C03C 15/00 D ,  G02B 1/04 ,  G02F 1/1333 500 ,  G02F 1/1335