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J-GLOBAL ID：200903010073094721

脆質部材からの表面保護テープの剥離方法

Inventor： 奥 地 茂 人
Applicant, Patent owner： リンテック株式会社
Agent (4)： 鈴木 俊一郎 ,  牧村 浩次 ,  高畑 ちより ,  鈴木 亨
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002218518
Publication number (International publication number)：2004063678
Application date： Jul. 26, 2002
Publication date： Feb. 26, 2004
Summary：

【課題】半導体ウエハ等の脆質部材に貼付された、剛性を有する表面保護テープを剥離する際に、脆質部材にダメージを与えることなく容易に剥離できる方法を提供することを目的としている。【解決手段】本発明に係る脆質部材からの表面保護テープの剥離方法は、曲げ強度5〜100mNの表面保護テープが貼付された脆質部材表面から、該表面保護テープを剥離するに際して、該表面保護テープの曲げ強度の0.5〜2倍の曲げ強度を有する剥離用テープを、該表面保護テープの端部に接着し、該剥離用テープの折り返し方向に剥離用テープを引くことを特徴としている。【選択図】 図3

Claim (excerpt)：

曲げ強度5〜100mNの表面保護テープが貼付された脆質部材表面から、該表面保護テープを剥離するに際して、 該表面保護テープの曲げ強度の0.5〜2倍の曲げ強度を有する剥離用テープを、該表面保護テープの端部に接着し、 該剥離用テープの折り返し方向に剥離用テープを引くことを特徴とする脆質部材からの表面保護テープの剥離方法。

IPC (4)：

H01L21/304 ,  B32B7/06 ,  C09J5/00 ,  C09J7/02

FI (4)：

H01L21/304 622J ,  B32B7/06 ,  C09J5/00 ,  C09J7/02 Z

F-Term (34)：

4F100AK25G ,  4F100AK42C ,  4F100AK51 ,  4F100AR00B ,  4F100AR00C ,  4F100BA03 ,  4F100BA04 ,  4F100BA07 ,  4F100BA10A ,  4F100BA10C ,  4F100CB00D ,  4F100DB02C ,  4F100GB41 ,  4F100JK04A ,  4F100JK04B ,  4F100JK04C ,  4F100JK20A ,  4F100JL12D ,  4F100YY00A ,  4F100YY00C ,  4J004AB03 ,  4J004CA06 ,  4J004CB03 ,  4J004CC02 ,  4J004FA04 ,  4J004FA05 ,  4J040DF061 ,  4J040EF221 ,  4J040JB01 ,  4J040MA10 ,  4J040NA20 ,  4J040PA23 ,  4J040PA32 ,  4J040PA42