基板処理装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：吉田茂明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998116677
Publication number (International publication number)：1999307612
Application date： Apr. 27, 1998
Publication date： Nov. 05, 1999
Summary：

【要約】【課題】搬送ロボットにトラブルが発生した際に、オペレータが容易に搬送ロボットの状態を確認できるとともに、復帰作業も容易に行うことができること。【解決手段】搬送ロボットが基板を搬送する際に、各アーム31a,31bの戻り位置に設けられた基板検出センサ21a,21bにより基板の有無を検出する。メインコントローラは、基板検出センサ21a,21bによりアーム上の基板の有無について異常を検出した際に、搬送ロボットを停止させ、警報発生部に対して警報命令を送出するとともに、操作パネルに警報画面を表示させる。そして、メインコントローラは、操作パネルからの入力に基づいて搬送ロボットを所定の確認可能位置に移動させるように搬送ロボットコントローラに対して命令を送る。これにより、搬送ロボットは、オペレータの目視確認が容易な位置に移動する。

Claim (excerpt)：

搬送ロボットが複数の処理部に対して基板を順次に搬送することによって、基板に対する所定の処理を施す装置であって、(a) 前記搬送ロボットに設けられ、基板を各処理部間で搬送する際に、基板を保持するアームと、(b) 前記アームにおける基板の有無を検出する基板検出センサと、(c) 前記搬送ロボットの動作を制御するとともに、前記基板検出センサの出力を監視する制御部と、(d) 前記制御部からの命令に基づいて警報を発生させる警報発生手段と、を備え、前記制御部は、前記基板検出センサの出力の異常を検出した場合に、前記警報発生手段に対して前記命令を送出し、前記アームの基板保持状態の確認可能位置に前記搬送ロボットを移動させることを特徴とする基板処理装置。

IPC (3)：

H01L 21/68 , B25J 19/06 , B65G 49/07

FI (3)：

H01L 21/68 A , B25J 19/06 , B65G 49/07 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

搬送装置及び搬送方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-040592 Applicant：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
特開平4-198485
特開昭62-299024

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