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J-GLOBAL ID：200903010086086060

ペロブスカイト皮膜の作製方法

Inventor： スティーヴン・イー・バーナッキ
Applicant, Patent owner： レイセオン・カンパニー
Agent (1)： 湯浅 恭三 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992241138
Publication number (International publication number)：1993200277
Application date： Jul. 27, 1992
Publication date： Aug. 10, 1993
Summary：

【要約】【目的】 ABO3の一般化学式を有するペロブスカイト皮膜を基板上に作製する方法を提供する。【構成】 本発明の方法は、アルコキシドと有機塩を使用してAとBを含んだ組成のゾル-ゲル溶液を調製する工程、及びこのゾル-ゲル溶液を基板上に薄膜として付着させる工程を含む。この皮膜は、エキシマーレーザーからのエネルギーで照射することによってペロブスカイト皮膜に転化される。このような集成体を使用することによって、極めて速やかな結晶化が起こる。これにより、基板の加熱及び金属導体の酸化が少なくなる。

Claim (excerpt)：

物質の層を結晶化させて、ペロブスカイト結晶構造を有する物質を作製する方法であって、前記物質の層をコヒーレントエネルギーで照射して前記皮膜を速やかに加熱し、これによって前記皮膜をペロブスカイト結晶質物質に転化させる工程を含む前記方法。

IPC (4)：

B01J 19/12 ,  C04B 35/49 ,  H01B 3/00 ,  H01B 3/12 301