漏洩ガス測定装置および漏洩ガス測定方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：岡戸昭佳 , 富澤孝 , 山中郁生
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002350938
Publication number (International publication number)：2004184207
Application date： Dec. 03, 2002
Publication date： Jul. 02, 2004
Summary：

【課題】微量な漏洩であっても信頼性の高い測定が可能であり,ワークを迅速に交換できるとともに余計な液体窒素等を消費しない漏洩ガス測定装置および漏洩ガス測定方法を提供すること。【解決手段】漏洩ガス測定装置1は,ワーク10を収納するチャンバ11と,ヘリウムガス以外のガスを排気するクライオポンプ13およびヘリウム分子を検出する質量分析器12を含み,チャンバ11とともに蓄積部を構成する分析部と,チャンバ11と分析部との間の断続を切り替える開閉弁21を有する。さらに,ターボ分子ポンプ14と,分析部とターボ分子ポンプ14との間の断続を切り替える開閉弁23を有する。この漏洩ガス測定装置1を使用した漏洩ガス測定方法では,準備排気後クライオポンプ13のみによる排気状態として質量分析器12で検出する。ワーク10の交換時には,質量分析器12とクライオポンプ13とをターボ分子ポンプ14で排気する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

測定対象物を収納するチャンバと, 測定対象ガス以外のガスを排気するクライオポンプおよび測定対象ガスの分子を検出する分析装置を含み,前記チャンバとともに蓄積部を構成する分析部と, 前記チャンバと前記分析部との間の断続を切り替える第1開閉弁と, ターボ分子ポンプと, 前記分析部と前記ターボ分子ポンプとの間の断続を切り替える第2開閉弁とを有し, 測定対象物からの漏洩ガスを前記蓄積部に蓄積して測定することを特徴とする漏洩ガス測定装置。

IPC (1)：

G01M3/20

FI (3)：

G01M3/20 D , G01M3/20 A , G01M3/20 B

F-Term (8)：

2G067AA24 , 2G067BB02 , 2G067BB03 , 2G067BB04 , 2G067BB12 , 2G067CC13 , 2G067DD17 , 2G067DD18

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開昭61-213742
特開昭60-230029
特開昭61-213742

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