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J-GLOBAL ID：200903010136404815

基板保持具洗浄装置

Inventor： 佐々木 浩
Applicant, Patent owner： 大日本スクリーン製造株式会社
Agent (1)： 小野 由己男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993322417
Publication number (International publication number)：1995176505
Application date： Dec. 21, 1993
Publication date： Jul. 14, 1995
Summary：

【要約】【目的】 短時間で容易に基板保持具の保持溝を洗浄できるようにする。【構成】 基板保持具洗浄装置13は、基板処理槽20内において複数の基板Wを整列させて下方から保持する複数の保持溝を有する基板保持具を洗浄するものであって、洗浄ノズル35a,35bと、洗浄液供給配管37とを備えている。洗浄ノズル35a,35bは、基板搬送ロボットによって搬送されて基板処理槽内に配置され、基板保持具の保持溝に向けて純水を吐出する。洗浄液供給配管37は、洗浄ノズル35a,35bに純水を供給する。

Claim (excerpt)：

基板処理槽内において、複数の基板を整列させて下方から保持する複数の保持溝を有する基板保持具を洗浄する基板保持具洗浄装置であって、前記基板処理槽内に配置可能であり、前記基板保持具の保持溝に向けて洗浄液を吐出する洗浄液吐出部と、前記洗浄液吐出部に洗浄液を供給する洗浄液供給部と、を備えた基板保持具洗浄装置。

IPC (6)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 ,  B08B 3/04 ,  B08B 11/04 ,  B65G 49/07 ,  C23C 14/00