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J-GLOBAL ID：200903010137170320
基板搬送・収納装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
杉谷 勉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994074448
Publication number (International publication number)：1995263520
Application date： Mar. 17, 1994
Publication date： Oct. 13, 1995
Summary：
【要約】【目的】 熱処理時に蓄積された熱によって基板に悪影響を与えることがない基板搬送・収納装置を提供する。【構成】 基板搬送アームのアーム本体2は、基板Wよりも若干径大で、基板Wの外周に沿うフレーム5aを備え、各フレーム5aの上面に支持部材5bがある。基板収納カセット8の隔壁部材51の上面に複数個の支持ピン60がある。各支持ピン60は、基板収納部50内の上方定位置と下方定位置とにわたって平面視でフレーム5aと干渉しない位置にあるので、アーム本体2と基板収納部50との間で基板Wを受け渡すことができる。さらに各支持ピン60は、上方定位置および下方定位置にあたる水平搬送経路上で、フレーム5aと干渉しない位置にあるので、アーム本体2は、基板収納部50に対して進出/退出することができる。
Claim (excerpt)：
基板を水平に支持する昇降および進退移動可能なアーム本体を備えた基板搬送アームと、前記基板を水平姿勢で収納する基板収納部を複数段有する基板収納カセットとからなり、前記基板収納部内の上方に定められた上方定位置と、下方に定められた下方定位置との間を前記アーム本体が昇降することにより、アーム本体と前記基板収納部との間で基板の受け渡しを行なう基板搬送・収納装置において、前記基板搬送アームのアーム本体には、基板よりも大径で、基板の外周に沿ったフレームが設けられるとともに、前記フレームの内側に、基板の周縁を支持する第1支持部材が配設され、前記基板収納カセットの各基板収納部には、基板の周縁を支持する第2支持部材が、前記上方定位置ないし前記下方定位置にわたって平面視で前記フレームおよび前記第1支持部材と干渉しない位置であって、かつ、前記上方定位置および前記下方定位置への前記アーム本体の水平進出経路上と前記上方定位置および下方定位置からの前記アーム本体の退出経路上で前記フレームおよび前記第1支持部材と干渉しない位置に配設されたことを特徴とする基板搬送・収納装置。
IPC (5)：
H01L 21/68
, B65D 85/86
, B65D 85/57
, B65G 1/00 543
, G11B 7/26
