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J-GLOBAL ID：200903010197091283

荷電粒子除去電極及びその除去方法

Inventor： 柴田 猛順 ,  大場 弘則
Applicant, Patent owner： 日本原子力研究所
Agent (1)： 湯浅 恭三 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993162586
Publication number (International publication number)：1995016432
Application date： Jun. 30, 1993
Publication date： Jan. 20, 1995
Summary：

【要約】【目的】 原子ビーム中の荷電粒子を効率良く取り除く電極及びその方法を提供する。【構成】 荷電粒子を含む原子ビームから荷電粒子を取り除くための除去電極において、該除去電極が二段以上の電極から成ることを特徴とするもの。後段の除去電極には、前段の除去電極よりも高い負電圧を印加する。

Claim (excerpt)：

荷電粒子を含む原子ビームから荷電粒子を取り除くための除去電極において、該除去電極が二段以上の電極から成ることを特徴とするもの。

IPC (2)：

B01D 59/34 ,  B03C 3/38