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J-GLOBAL ID：200903010248049309

接触状態観察方法および接触状態観察装置

Inventor：
田口 紳一郎

About 田口 紳一郎

, 
太田 隆

About 太田 隆


Applicant, Patent owner：
エヌオーケー株式会社

About エヌオーケー株式会社


Agent (1)： 佐藤 隆久
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999324144
Publication number (International publication number)：2001141434
Application date： Nov. 15, 1999
Publication date： May. 25, 2001
Summary：
【要約】【課題】被接触物に接触した状態で実使用される観察対象物の接触面の接触状態を再現でき、かつ、再現された接触状態を詳細かつ明瞭に観察可能な接触状態観察方法および接触状態観察装置を提供する。【解決手段】一方面に実質的に平滑な平滑面を有し、他方面に前記平滑面から入射した光を乱反射させる凹凸面を有する透明な材料からなる観察用部材としてのガラス板11と、ガラス板11の凹凸面11aと観察対象物Wの被観察面とを所定の押圧力で相対的に押し付けるアクチュエータ21と、ガラス板11を通じて観察対象物Wに光を照射する光源35と、ガラス板11を通じて観察対象物Wと凹凸面11aとの接触部の光学拡大像を得る光学拡大手段とての顕微鏡鏡筒41と、光学拡大像を撮像する撮像手段としてのCCDカメラ42と、撮像画像を表示する表示手段としての画像処理装置31、表示装置32とを有する。
Claim (excerpt)：
一方面が実質的に平滑な面からなり、他方面が前記一方面から入射した入射光を乱反射させる凹凸面からなり、所定の屈折率の透明性材料からなる観察用部材の当該凹凸面を観察対象物の被観察面に対し所定の押圧力で相対的に押し付け、前記観察用部材の一方面側から前記被観察面に向けて光を照射し、前記観察用部材の凹凸面と前記被観察面との接触部からの反射光に生じる明暗に基づいて前記接触状態を把握する接触状態観察方法。
IPC (2)：
G01B 11/30 ,  G01N 21/43
FI (2)：
G01B 11/30 A ,  G01N 21/43
F-Term (27)：
2F065AA49 ,  2F065BB26 ,  2F065CC00 ,  2F065FF04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ31 ,  2F065UU04 ,  2G059AA05 ,  2G059BB15 ,  2G059CC20 ,  2G059DD13 ,  2G059EE02 ,  2G059EE05 ,  2G059FF01 ,  2G059GG00 ,  2G059GG04 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ12 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ20 ,  2G059KK04 ,  2G059MM03 ,  2G059MM09 ,  2G059PP04
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (1)

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