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J-GLOBAL ID：200903010260464397
光磁気ディスク製造装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
薬師 稔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992143696
Publication number (International publication number)：1993311441
Application date： May. 11, 1992
Publication date： Nov. 22, 1993
Summary：
【要約】【目的】光磁気ディスクの製造にあたり、その製造工程で人手をかけることなく、自動的に組立・移送するための装置であって、ディスクの生産性の向上と不良率の低下を図ったものである。【構成】トレイキャリアコンベア2、トレイキャリア反転機構3、トレイキャリア水平回転機構4、ディスク脱着ロボットA、内外マスク8,9の脱着ロボットB、ディスク移載移送ステーション10,11,12,13を備え、自動的にディスクのスパッタリングおよびディスクの脱着・移送を行う。
Claim (excerpt)：
トレイキャリアコンベア、トレイキャリア水平回転機構、未スパッタディスク移載および供給ステーション、スパッタ済ディスク移載および受取ステーション、フロロウェアコンベアを備え、前記トレイキャリア水平回転機構に載置されたトレイキャリアに対して、ディスクを着脱するロボットと、ディスクを予め固定している内外マスクを着脱するロボットを設けたことを特徴とする光磁気ディスク製造装置。
IPC (4)：
C23C 14/56
, H01L 21/68
, G11B 11/10
, H01L 21/203
Cited by examiner (8)
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