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J-GLOBAL ID：200903010260610288
製造制御システム
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
京本 直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991305181
Publication number (International publication number)：1993143610
Application date： Nov. 21, 1991
Publication date： Jun. 11, 1993
Summary：
【要約】【目的】ジョブジョブ方式の生産ラインに於ける製造制御システムのメンテナンス性を向上させ、迅速でリアルタイムに制御を行う。【構成】半導体装置などの各製造設備11 〜1n から各端末21〜2n を介して入力された生産・品質関係の情報をホストコンピュータ3により管理し、そのデータベースとしてメンテナンス単位に分けられたメンテナンス用データベース群A〜Eと、それらから生成される制御用データベースFとによって管理・制御する。
Claim (excerpt)：
半導体装置等を製造する複数の作業工程を同一製造設備群で処理するため、これら各設備からの情報をホストコンピュータにそれぞれ転送する複数の端末機と、前記ホストコンピュータの各種情報のメンテナンスとその出力表示とを行うホスト用端末機とを備えた製造制御システムにおいて、前記各設備の作業開始、作業中及び作業終了時に作業条件、作業数、作業結果、作業日時及び作業工程に関わる情報を前記端末機と前記ホストコンピュータとで交換する第1のステップと;製造履歴を管理する第1のデータベース、作業品目名とそれを製造する工程手順を管理する第2のデータベース、前記作業品目名をグルーピングした作業品目名群とその作業品目名群で使用される工程及びその工程の作業条件及び作業に係わる情報を管理する第3のデータベース、前記作業条件とその詳細及びその条件に係わる情報を管理する第4のデータベース、前記作業品目名とその工程、条件のチェックに係わる情報を管理する第5のデータベース、作業結果及び作業状況によって工程手順・条件等の作業に係わる情報を更新制御する第6のデータベースおよびこれら第1から第6のデータベース群より生成される管理制御用データベースによって前記端末に転送された情報をチェックし、制御する第2のステップと;前記チェック結果及び制御結果により前記工程手順、作業条件及び作業工程に係わる各情報のデータベース群を前記ホストコンピュータが更新する第3のステップとをもつことを特徴とする製造制御システム。
IPC (3)：
G06F 15/21
, B23Q 41/00
, H01L 21/02
