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J-GLOBAL ID：200903010263135793

検出コイル着脱式プローブ

Inventor： 千葉 徳男 ,  矢部 悟 ,  小田原 成計
Applicant, Patent owner： セイコー電子工業株式会社
Agent (1)： 林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991186496
Publication number (International publication number)：1993026991
Application date： Jul. 25, 1991
Publication date： Feb. 05, 1993
Summary：

【要約】【目的】 多チャンネルプローブや大型の検出コイルを有するプローブにおいて、検出コイルを着脱可能として冷媒容器中に固定することにより、検出コイルを含まないプローブの小型化を可能とし、さらに検出コイルの位置精度の向上を可能とする。【構成】 冷媒容器8に固定した多チャンネル検出コイル1と、磁気センサ部3を、超伝導コネクター2を用いて接続する。超伝導コネクター2は超伝導被覆したバネ材を有するソケットと超伝導ピンで構成される。

Claim (excerpt)：

磁場を検出し信号電流とする検出コイルと、前記検出コイルに接続され、信号電流を信号電圧に変換する磁気センサ部と、前記磁気センサ部の同軸延長上に接続された支持棒と、前記支持棒を支持するフランジとからなるプローブにおいて、前記検出コイルと前記磁気センサ部の接続部に超伝導コネクターを設置したことを特徴とする検出コイル脱着式プローブ。

IPC (2)：

G01R 33/035 ZAA ,  H01L 39/22 ZAA