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J-GLOBAL ID:200903010295482770
ダイヤモンド-金属接合体
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
丸島 儀一
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991150317
Publication number (International publication number):1993000891
Application date: Jun. 21, 1991
Publication date: Jan. 08, 1993
Summary:
【要約】【目的】 再現性の良いオーミック接合用電極の提供。【構成】 半導体ダイヤモンド層と、金属層との間に層厚10Å以上のグラファイト層を介し、オーミック接合を形成したことを特徴とする-金属接合体。
Claim (excerpt):
半導体ダイヤモンド層と、金属層との間に層厚10Å以上のグラファイト層を介し、オーミック接合を形成したことを特徴とするダイヤモンド-金属接合体。
IPC (2):
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