Pat

J-GLOBAL ID：200903010375391032

合焦位置検出装置

Inventor： 佐藤 裕 ,  大谷 文一
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993209798
Publication number (International publication number)：1995065771
Application date： Aug. 25, 1993
Publication date： Mar. 10, 1995
Summary：

【要約】【目的】高い合焦位置検出精度を保ちながら、合焦位置検出時間が短縮できる合焦位置検出装置を提供することを目的とする。【構成】あらかじめ予定した予定合焦位置を記憶する記憶装置(14)と、合焦位置検出を行う試料に対し、記憶装置(14)に記憶した前記予定合焦位置の所定近傍範囲内では、焦点調節状態を表す信号のサンプリング周期を短くし、所定近傍範囲外では、前記焦点調節状態を表す信号のサンプリング周期を長くするサンプリング周期制御手段(4,11,13,14)とを備える。

Claim (excerpt)：

対物レンズの結像位置と試料との相対位置を前記対物レンズの光軸方向に変化させる変化手段と、前記相対位置を変化させている時の、複数の相対位置における前記試料に対する焦点調節状態を表す信号をサンプリングするサンプリング手段と、を具備し、前記焦点調節状態を表す信号に基づいて、前記試料に対する合焦位置を決定する合焦位置検出装置において、あらかじめ予定した予定合焦位置を記憶する記憶装置と、合焦位置検出を行う試料に対し、前記記憶装置に記憶した前記予定合焦位置の所定近傍範囲内では、前記焦点調節状態を表す信号のサンプリング周期を短くし、所定近傍範囲外では、前記焦点調節状態を表す信号のサンプリング周期を長くするサンプリング周期制御手段と、を備えたことを特徴とする合焦位置検出装置。

IPC (3)：

H01J 37/21 ,  H01J 37/141 ,  H01J 37/22 502