Pat

J-GLOBAL ID：200903010400504335

真空チャンバー

Inventor： 宮代 康
Applicant, Patent owner： 三菱樹脂株式会社
Agent (1)： 近藤 久美
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992048841
Publication number (International publication number)：1993247629
Application date： Mar. 05, 1992
Publication date： Sep. 24, 1993
Summary：

【要約】【目的】 高真空測定装置に用いられているフィラメントを痛めることがない真空チャンバーを提供する。【構成】 高真空測定装置と低真空測定装置とが、各々、異なった空間に備えられ、該二つの空間は開閉可能な遮断体により区切られており、かつ、低真空測定装置を備えた空間は該空間を脱気するポンプを有していることを特徴とする真空チャンバー。【効果】 試料交換の度に高真空測定装置に用いられているフィラメントを痛めることがないので、高真空測定装置の寿命が極めて長く、また、精度の低下もない。

Claim (excerpt)：

高真空測定装置と低真空測定装置とを備えた真空チャンバーにおいて、前記高真空測定装置と前記低真空測定装置とが、開閉可能な遮断体により、各々、異なった空間に区切られており、かつ、低真空測定装置を備えた空間は該空間を脱気するポンプを有していることを特徴とする真空チャンバー。

IPC (3)：

C23C 14/22 ,  B01J 3/00 ,  B01J 3/02