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J-GLOBAL ID：200903010406629229
液晶表示装置の製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
有我 軍一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993077787
Publication number (International publication number)：1994289401
Application date： Apr. 05, 1993
Publication date： Oct. 18, 1994
Summary：
【要約】【目的】 本発明は、液晶表示装置の製造方法に関し、不純物及びピンホール等の入り難い良質な膜質のポリイミド系有機配向膜及び無機酸化膜を得ることができる液晶表示装置の製造方法を提供することを目的とする。【構成】 大気圧プラズマ法により基板上に無機酸化膜を形成する工程と、次いで、大気圧プラズマ法により該無機酸化膜上にポリイミド系有機配向膜を形成する工程とを含むように構成する。
Claim (excerpt)：
大気圧プラズマ法により基板上に無機酸化膜を形成する工程と、次いで、大気圧プラズマ法により該無機酸化膜上にポリイミド系有機配向膜を形成する工程とを含むことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
IPC (3)：
G02F 1/1337 525
, C09K 19/02
, C23C 16/40
Cited by applicant (2)
Cited by examiner (2)
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