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J-GLOBAL ID：200903010416507679

X線発生装置

Inventor： 西村 靖彦 ,  間瀬 晃 ,  松原 享治 ,  東 博純
Applicant, Patent owner： 株式会社トヨタマックス ,  トヨタ自動車株式会社 ,  株式会社豊田中央研究所
Agent (1)： 大川 宏
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999190941
Publication number (International publication number)：2001023795
Application date： Jul. 05, 1999
Publication date： Jan. 26, 2001
Summary：

【要約】【課題】飛散粒子の発生をほとんど無くし、高頻度で繰り返してレーザープラズマ軟X線やX線レーザーを発生させることができるようにする。【解決手段】真空容器内に配置されたターゲットにエネルギービームを照射するX線発生装置において、気体、液体及び微粒子から選ばれる少なくとも一つの状態にあるターゲット材料42がケース内に封入されてなる封入ターゲット40を用いた。このようなターゲット材料を用いることにより、飛散粒子の発生がほとんど無い。そして封入ターゲットとすることでレーザー集光部への連続的な供給が可能となる。

Claim (excerpt)：

真空容器と、該真空容器内に配置されたターゲットと、該ターゲットにエネルギービームを照射するビーム照射手段と、よりなるX線発生装置において、該ターゲットは気体、液体及び微粒子から選ばれる少なくとも一つの状態にあるターゲット材料がケース内に封入されてなる封入ターゲットとして配置されていることを特徴とするX線発生装置。

IPC (4)：

H05G 2/00 ,  G21K 5/02 ,  G21K 5/08 ,  H05H 1/24

FI (4)：

H05G 1/00 K ,  G21K 5/02 X ,  G21K 5/08 X ,  H05H 1/24

F-Term (4)：

4C092AA06 ,  4C092AB11 ,  4C092AB19 ,  4C092BD01