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J-GLOBAL ID：200903010425005570

電子顕微鏡用試料の作製方法

Inventor： 鷲尾 伸生 ,  鈴木 直久
Applicant, Patent owner： 東芝マイクロエレクトロニクス株式会社 ,  株式会社東芝
Agent (1)： 鈴江 武彦 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999254561
Publication number (International publication number)：2001074621
Application date： Sep. 08, 1999
Publication date： Mar. 23, 2001
Summary：

【要約】【課題】本発明は、電子顕微鏡用試料を破壊したり、飛ばして紛失したりすることがなく、また金属メッシュに張られた有機膜を破ることなく、容易に金属メッシュ上に試料を張り付けることができることを最も主要な特徴とする。【解決手段】表面にコロジオン膜16が張られた金属メッシュ17からなる支持台18上に純水からなる水滴21を形成しておき、静電ピンセット14の先端部に試料15を付着させることによって試料15を採取し、この試料を水滴21に接触させることによって支持台18上に試料15を載置し、接着するようにしたことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

表面に有機膜が張られた金属メッシュからなる支持台上に揮発可能な液体を予め塗布しておき、静電ピンセットの先端部に試料を付着させることによって試料を採取し、この採取された試料を上記液体に接触させることによって上記支持台上に上記試料を載置し、接着するようにしたことを特徴とする電子顕微鏡用試料の作製方法。

IPC (4)：

G01N 1/28 ,  G01N 1/00 101 ,  G01N 23/04 ,  H01L 21/66

FI (5)：

G01N 1/28 F ,  G01N 1/00 101 A ,  G01N 23/04 ,  H01L 21/66 N ,  G01N 1/28 W

F-Term (24)：

2G001AA03 ,  2G001BA11 ,  2G001CA03 ,  2G001GA01 ,  2G001GA06 ,  2G001GA09 ,  2G001HA09 ,  2G001HA13 ,  2G001JA12 ,  2G001KA08 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001RA08 ,  2G001RA10 ,  4M106AA01 ,  4M106AA20 ,  4M106BA02 ,  4M106BA12 ,  4M106CB17 ,  4M106DH24 ,  4M106DH55 ,  4M106DH60 ,  4M106DJ02 ,  4M106DJ32