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J-GLOBAL ID：200903010428143192

顕微鏡の試料ステージの位置補正方法および試料ステージ

Inventor： 原口 康史 ,  北沢 佳一
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社 ,  日本電子ライオソニック株式会社
Agent (1)： 井島 藤治 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996042260
Publication number (International publication number)：1997236755
Application date： Feb. 29, 1996
Publication date： Sep. 09, 1997
Summary：

【要約】【課題】 簡単に試料の全域に渡ってユーセントリック性を確保することができる顕微鏡の移動ステージの補正方法および移動ステージを実現する。【解決手段】 制御装置15内にはZ方向のズレ量を求める式の各係数が記憶されている。そして、実際の試料の観察時には、試料13をX,Y方向に移動させ、回転させた場合に、観察部分のx,y位置をX駆動機構4とY駆動機構10とから制御装置15内に取り込み、更に、回転台6の回転角を回転駆動機構7から取り込み、事前に記憶された係数と演算式によりZ方向のユーセントリック性の補正量を演算により求める。この求められた補正量はZ方向移動台11の駆動機構12に供給され、Z方向移動台11はユーセントリック性を維持するために調整される。

Claim (excerpt)：

X方向に移動するX方向移動台と、X方向移動台上に配置されX方向と平行な軸の周りに回転する回転台と、回転台と共に回転し、X方向と垂直なY方向に移動するY方向移動台と、回転台と共に回転し、X,Y方向に垂直なZ方向に移動するZ方向移動台とを備え、回転台の回転中心にビームを照射するようにした顕微鏡の試料ステージにおいて、回転台の回転によるZ方向の位置ズレの補正を行うに当たり、位置ズレの補正量を近似多次関数によって求めるようにした顕微鏡の試料ステージの位置補正方法。

IPC (3)：

G02B 21/24 ,  H01J 37/20 ,  H01L 21/68

FI (3)：

G02B 21/24 ,  H01J 37/20 D ,  H01L 21/68 K