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J-GLOBAL ID：200903010450295400

選択作用性透過面を有するガス流路及びその透過面の製法

Inventor： ヴェルナー グローセ ブライ ,  トーマス ベーム ,  ウルリッヒ デブラー ,  マンフレート ラッハー ,  トーマス ツェッテラー
Applicant, Patent owner： ライボルト ヴァークウム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング
Agent (1)： 矢野 敏雄 (外3名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1997502561
Publication number (International publication number)：1999507587
Application date： Jun. 01, 1996
Publication date： Jul. 06, 1999
Summary：

【要約】本発明は、選択作用性の、石英、石英ガラス、パイレックスガラス等からなる透過面を有するガス流路(1)に関する;一方で比較的薄く、他方で比較的大きな圧力差で供給可能な透過面を製造するために、選択作用性透過面を、多数の隣接する窓(5)から構成することを提案している。

Claim (excerpt)：

石英、石英ガラス、パイレックスガラス等からなる選択作用性透過面を有するガス流路(1)において、選択作用性透過面が多数の隣接する窓(5)からなることを特徴とする、石英、石英ガラス、パイレックスガラス等からなる選択作用性透過面を有するガス流路(1)。

IPC (4)：

B01D 53/22 ,  B01D 69/00 ,  B01D 71/02 500 ,  G01M 3/20

FI (4)：

B01D 53/22 ,  B01D 69/00 ,  B01D 71/02 500 ,  G01M 3/20 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 真空ポンプを備えたプローブガス検出器ならびにこのようなプローブガス検出器を運転する方法
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願平7-506172   Applicant：ライボルトアクチエンゲゼルシヤフト
• 特開平2-054163