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J-GLOBAL ID：200903010461810099

超精密加工装置

Inventor： 野田 修 ,  栗林 志頭真
Applicant, Patent owner： 三菱重工業株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998162265
Publication number (International publication number)：1999347758
Application date： Jun. 10, 1998
Publication date： Dec. 21, 1999
Summary：

【要約】【課題】より精密な加工と、長時間連続動作が要求されるラインへの導入を可能とする。【解決手段】超短パルスレーザビーム2を出射するfsecTiサファイヤレーザ発振器1と、超短パルスレーザビーム2のビーム径を拡大して反射させる折返しミラー3と、折返しミラー3で反射した超短パルスレーザビーム2をラインフォーカスしてウェハ5に照射するシリンドリカルミラー4から構成される。

Claim (excerpt)：

超短パルスレーザ光を出射するTiサファイアレーザ光源と、前記長短パルスレーザ光を反射して被加工材に照射する反射手段とを具備してなることを特徴とする超精密加工装置。

IPC (6)：

B23K 26/00 ,  H01L 21/301 ,  G02B 7/198 ,  G02B 17/08 ,  H01S 3/00 ,  H01S 3/16

FI (6)：

B23K 26/00 N ,  G02B 17/08 Z ,  H01S 3/00 B ,  H01S 3/16 ,  H01L 21/78 B ,  G02B 7/18 B