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J-GLOBAL ID:200903010492362965
物体を均一加熱する装置
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
吉武 賢次 (外5名)
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):2001562261
Publication number (International publication number):2003524304
Application date: Feb. 21, 2001
Publication date: Aug. 12, 2003
Summary:
【要約】物体(O)を均一加熱する装置でこの物体(O)を支持する支持表面(2)と、この支持表面(2)上に配された加熱層(3)とを備える。加熱層(3)は、エネルギー源(4)から受けたエネルギーを少なくとも部分的に吸収し、こうして吸収したエネルギーを支持表面(2)に支持された物体(O)に少なくとも部分的に発する。また、加熱層(3)は、層(3)が吸収したエネルギーが自己調整式に層(3)の表面沿いに均等に分布するような材料からできている。加熱装置は、簡単でコンパクトな装置を形成し、均一の温度まで物体(O)を急速に加熱するのに使用される。
Claim (excerpt):
物体(O)を支持する支持表面(2)と、この支持表面(2)上に配されて、エネルギー源(4)から受けるエネルギーを少なくとも部分的に吸収し、吸収したエネルギーを少なくとも部分的に支持表面(2)に支持された物体(O)に発する層(3)とを備え、層(3)が、層(3)に吸収されるエネルギーが自己調整式に層(3)の表面沿いに均等に分布する材料で作られていることを特徴とする物体(O)を均一加熱する装置。
IPC (3):
H01L 21/027
, H05B 3/00 310
, H05B 3/20 312
FI (3):
H05B 3/00 310 D
, H05B 3/20 312
, H01L 21/30 567
F-Term (14):
3K034AA05
, 3K034AA15
, 3K034BB13
, 3K034FA02
, 3K034FA11
, 3K034HA10
, 3K034JA05
, 3K058AA02
, 3K058AA73
, 3K058AA86
, 3K058BA00
, 3K058CA12
, 3K058CA23
, 5F046KA04
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