固体撮像装置およびその製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：滝本智之 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996060529
Publication number (International publication number)：1997252105
Application date： Mar. 18, 1996
Publication date： Sep. 22, 1997
Summary：

【要約】【課題】読み出し駆動電圧の低電圧化、スミア低減ができ、高い飽和特性を維持し、製造工程での注入マスクの合わせばらつきに起因するこれらの特性の変動をなくし、製造コストの削減をする。【解決手段】 n型半導体基板1の表面に選択的に形成されたn型拡散層4と、n型拡散層4の直下部に位置し、それぞれの端がn型拡散層4の両端の位置と等しくなるように形成されたp型拡散層3を有することにより、読み出し駆動電圧の低電圧化、スミア低減ができ、高い飽和特性を維持し、製造工程での注入マスクの合わせばらつきに起因するこれらの特性の変動がなく、製造コストの削減ができる。

Claim (excerpt)：

半導体基板表面に選択的に形成されたn型拡散層と、前記半導体基板の前記n型拡散層の直下部に位置し、端が前記n型拡散層の端の位置と等しくなるように形成されたp型拡散層とを有することを特徴とする固体撮像装置。

IPC (2)：

H01L 27/148 , H04N 5/335

FI (2)：

H01L 27/14 B , H04N 5/335 F

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

固体撮像装置およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-046738 Applicant：松下電子工業株式会社
半導体装置の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-184983 Applicant：松下電子工業株式会社

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