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J-GLOBAL ID：200903010501536211

感光性樹脂組成物およびこれを用いた感光性フィルム

Inventor： 川口 卓 ,  木村 仁子
Applicant, Patent owner： 日立化成工業株式会社
Agent (1)： 若林 邦彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996205143
Publication number (International publication number)：1998048830
Application date： Aug. 05, 1996
Publication date： Feb. 20, 1998
Summary：

【要約】【課題】 下地金属との密着性を向上し、エッチングもぐりが少なく、金属精密加工に有用な感光性樹脂組成物及び感光性フィルムを提供する。【解決手段】 (A)アクリル酸、メタクリル酸、アクリル酸エステル又はメタクリル酸エステルを構成単量体として含むバインダポリマー、(B)分子内に重合可能なエチレン性不飽和結合を有するモノマー、(C)光重合開始剤及び(D)一般式(I)【化1】(式中、R1、R2及びR3は、各々独立に、アルキレン基又はアリーレン基により結合されたトリアルコキシシリル基を示す)で表されるイソシアヌレート化合物を含む感光性樹脂組成物並びに支持フィルム上に前記感光性樹脂組成物の層を積層してなる感光性フィルム。

Claim (excerpt)：

(A)アクリル酸、メタクリル酸、アクリル酸エステル又はメタクリル酸エステルを構成単量体として含むバインダポリマー、(B)分子内に重合可能なエチレン性不飽和結合を有するモノマー、(C)光重合開始剤及び(D)一般式(I)【化1】(式中、R1、R2及びR3は、各々独立に、アルキレン基又はアリーレン基により結合されたトリアルコキシシリル基を示す)で表されるイソシアヌレート化合物を含む感光性樹脂組成物。

IPC (7)：

G03F 7/085 ,  C09D 4/06 PDR ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/033 ,  H01L 23/50

FI (7)：

G03F 7/085 ,  C09D 4/06 PDR ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/033 ,  H01L 23/50 A