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J-GLOBAL ID：200903010510584610

強誘電体薄膜素子とその製造方法

Inventor： 高林 外広 ,  田村 幾夫 ,  谷野 克巳 ,  玉川 勤
Applicant, Patent owner： 富山県 ,  北陸電気工業株式会社
Agent (1)： 廣澤 勲
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992091596
Publication number (International publication number)：1993259472
Application date： Mar. 16, 1992
Publication date： Oct. 08, 1993
Summary：

【要約】【目的】 安価で取扱性もよく、電子素子としての駆動も容易なものにする。【構成】 耐熱性基板10上に、直接に又は、双方に接着性の良い接着層12を介して白金薄膜14を形成する。この白金薄膜14上にPLZT薄膜16を形成する。また、耐熱性基板10に、石英ガラス等の耐熱性ガラス基板を用い、白金との接着性を確保するために、チタン薄膜12をこのガラス基板10上に形成し、その上に白金薄膜14を形成した。

Claim (excerpt)：

耐熱性基板上に、直接又は接着層を介して白金薄膜を形成し、この白金薄膜上にPLZT薄膜を形成したことを特徴とする強誘電体薄膜素子。

IPC (6)：

H01L 29/788 ,  H01L 29/792 ,  G01H 11/08 ,  H01L 27/10 451 ,  H01L 37/02 ,  H01L 49/02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

• 特開平4-080959
  
• 特開平2-307275
  
• 特開平3-108759
  
• 特開平3-019373
  
• 特開昭62-161953
  
• 特開平4-199746