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J-GLOBAL ID：200903010522223035

観察装置の試料台制御方式

Inventor： 長谷川 公明 ,  佐藤 知正 ,  野原 健美 ,  内田 昌義 ,  松井 照幸
Applicant, Patent owner： 株式会社メイテック
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995067163
Publication number (International publication number)：1996223563
Application date： Feb. 15, 1995
Publication date： Aug. 30, 1996
Summary：

【要約】【目的】 本発明は、観察装置の試料台の操作性を向上せしめる制御方式を提供することを目的としている。【構成】 本発明は、試料台7と撮像手段1と表示手段2と指先位置検出手段3と指先変位量算出手段4と試料台制御手段5と試料台駆動手段6とを備え、前記試料台駆動手段による試料台7の駆勤量が、指先変位量算出手段4が算出する作業者の指先の変位量に対応するといった特徴を持つ。また、指先変位量は、2点のベクトルか、もしくは基準点を頂点とした狭角によって算出される。

Claim (excerpt)：

観察対象物を撮像する撮像手段と、前記撮像装置の撮像方向に位置し観察対象物を保持する試料台と、前記試料台を回転もしくは並進駆動する試料台駆動手段と、前記試料台駆動手段を外部から制御する試料台制御手段とを撮像部に設ける一方、前記撮像手段からの観察対象物映像を映し出す表示手段と、前記表示手段を介して遠隔的に作業をする作業者の、前記表示手段の表示面上での指先の位置を検出する、表示手段上に設けられた指先位置検出手段と、前記指先検出手段によって得られる指先位置の時間的変化から指先の変位量すなわち移動量と移動方向を算出する指先変位量算出手段とを作業部に設けた観察装置において、前記指先位置検出手段は前記表示手段の表示面上の作業者の指先位置を検出し、指先変位量算出手段は同指先位置の時間的変化から指先の変位量を算出し、前記試料台制御手段は同変位量に対応する前記試料台駆動手段の制御量を決定して、前記試料台駆動手段が試料台を駆動することを特徴とする制御方式。

IPC (4)：

H04N 7/18 ,  G02B 21/26 ,  G02B 27/02 ,  H04N 5/232

FI (4)：

H04N 7/18 E ,  G02B 21/26 ,  G02B 27/02 Z ,  H04N 5/232 B