Pat

J-GLOBAL ID：200903010530339972

安定化干渉計測装置

Inventor： 芳野 俊彦
Applicant, Patent owner： 芳野 俊彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998194909
Publication number (International publication number)：1999351814
Application date： Jun. 08, 1998
Publication date： Dec. 24, 1999
Summary：

【要約】【目的】 簡便で安定な干渉縞解析装置を提供すること。【構成】 2周波光4、2光束干渉計11、位相計18,サーボ信号22を具備している。

Claim (excerpt)：

2周波光ヘテロダイン干渉によって干渉計の光路差の検出を行い、サーボ機構を用いた位相制御によって干渉縞の位相を任意の可変位相値に安定化せしめ、縞解析を行わせることを特徴とする装置。

IPC (4)：

G01B 9/02 ,  G01B 11/06 ,  G01B 11/24 ,  G01J 9/02

FI (4)：

G01B 9/02 ,  G01B 11/06 G ,  G01B 11/24 D ,  G01J 9/02